[发明专利]一种化学机械研磨的水冷式研磨头有效
| 申请号： | 202010752452.0 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111843832B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 魏运秀 | 申请（专利权）人： | 广东汉岂工业技术研发有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/02 | 分类号： | B24B55/02;B24B37/34 |
| 代理公司： | 广州海藻专利代理事务所(普通合伙) 44386 | 代理人： | 张大保 |
| 地址： | 528000 广东省佛山市顺德区大良街道办事处德和居民委员会国泰*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械研磨的水冷式研磨头，包括研磨部、连接部、进出水部和隔离管，研磨部内设有涡旋槽道，涡旋槽道连接有进水管和出水管，进水管和出水管与进出水部连接，隔离管将进水管和出水管隔开。本发明通过在研磨头内设置冷却水路，可快速、有效的对研磨头进行冷却，改善化学机械研磨的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 研磨 水冷 | ||
【主权项】：
暂无信息
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