[发明专利]一种化学机械研磨的水冷式研磨头

权利要求书

1.一种化学机械研磨的水冷式研磨头，包括研磨部(1)、连接部(2)、进出水部(3)和隔离管(4)，其特征在于：所述研磨部(1)呈圆台状，研磨部(1)上成型有上侧开口的凹止口(11)，凹止口(11)的底面上成型有涡旋槽道(12)，涡旋槽道(12)的底面中部固定有进水管(13)，进水管(13)的下侧成型有与其相通的成型在研磨部(1)内部的进水通道(14)，涡旋槽道(12)的底面外侧成型有多个与进水通道(14)相通的进水孔(15)；

所述连接部(2)成型有与凹止口(11)相配合的凸止口(21)，凸止口(21)插套并固定在凹止口(11)内，所述凸止口(21)的下底面压靠在涡旋槽道(12)的上端面上；所述凸止口(21)的中部成型有与涡旋槽道(12)相通的出水管(22)，出水管(22)与进水管(13)同轴心设置且位于进水管(13)的外侧；

所述隔离管(4)插套在出水管(22)和进水管(13)之间，隔离管(4)的下端固定在涡旋槽道(12)的底面上；

所述进出水部(3)成型有由下而上直径依次减小的四级台阶孔(31)，进出水部(3)的侧壁上成型有四级台阶孔(31)的第二级孔相通的出水接口(32)，进出水部(3)的上底面上成型有四级台阶孔(31)的第四级孔相通的进水接口(33)；所述出水管(22)的上端通过第一密封轴承(51)铰接在四级台阶孔(31)的第一级孔上，隔离管(4)的上端通过第二密封轴承(52)铰接在四级台阶孔(31)的第三级孔上。

2.根据权利要求1所述的一种化学机械研磨的水冷式研磨头，其特征在于：所述连接部(2)上成型有一对对称设置的连接块(23)。

3.根据权利要求1所述的一种化学机械研磨的水冷式研磨头，其特征在于：所述进水管(13)的上端外壁上套接有密封圈(53)，密封圈(53)压靠在隔离管(4)的上端内壁上。

4.根据权利要求1所述的一种化学机械研磨的水冷式研磨头，其特征在于：所述进水通道(14)包括多条进行贯穿研磨部(1)的通水孔(141)及与多条通水孔(141)中部相通的通水口(142)，通水口(142)与进水管(13)相通；所述进水孔(15)与通水孔(141)的外端相通；所述通水孔(141)的两端开口处固定有堵头(54)。

5.根据权利要求1所述的一种化学机械研磨的水冷式研磨头，其特征在于：所述隔离管(4)的外壁和出水管(22)的内壁之间、隔离管(4)的内壁与进水管(13)的外壁之间都留有间隙。