[发明专利]一种宽带高灵敏度光电探测器在审
申请号: | 202010749822.5 | 申请日: | 2020-07-30 |
公开(公告)号: | CN111854942A | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 中山科立特光电科技有限公司 |
主分类号: | G01J1/42 | 分类号: | G01J1/42 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 528458 广东省中山市中山火炬开发区中心城区港*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及光电探测领域,具体提供了一种宽带高灵敏度光电探测器,金属层置于衬底上,介质层置于金属层上,介质层中设有贯穿的周期性排列的孔洞,孔洞内设有热电材料部,热电材料部的底面与金属层接触,热电材料部突出介质层,形成突出部,金属覆盖层覆盖热电材料部的顶面和侧面,金属覆盖层还覆盖介质层的顶面。应用时,金属覆盖层和金属层连接电极,待测光垂直照射金属覆盖层。待测光耦合进入金属覆盖层和金属层之间的空间,在热电材料部的顶部和底部之间产生温度差,从而导致热电材料部内部产生电场,通过探测该电场实现光探测。本发明具有宽带和灵敏度高的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 宽带 灵敏度 光电 探测器 | ||
【主权项】:
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