[发明专利]一种宽带高灵敏度光电探测器

权利要求书

1.一种宽带高灵敏度光电探测器，其特征在于，包括：衬底、金属层、介质层、热电材料部、金属覆盖层；所述金属层置于所述衬底上，所述介质层置于所述金属层上，所述介质层中设有贯穿的周期性排列的孔洞，所述孔洞内设有热电材料部，所述热电材料部的底面与所述金属层接触，所述热电材料部突出所述介质层，形成突出部，所述金属覆盖层覆盖所述热电材料部的顶面和侧面，所述金属覆盖层还覆盖所述介质层的顶面。

2.如权利要求1所述的宽带高灵敏度光电探测器，其特征在于：所述孔洞为圆柱形，所述突出部也为圆柱形，所述突出部的直径小于所述孔洞的直径。

3.如权利要求1所述的宽带高灵敏度光电探测器，其特征在于：所述孔洞为圆台形，所述突出部也为圆台形，所述突出部是所述孔洞形状的延伸。

4.如权利要求1-3任一项所述的宽带高灵敏度光电探测器，其特征在于：所述衬底为绝缘材料。

5.如权利要求4所述的宽带高灵敏度光电探测器，其特征在于：所述金属层的材料为钛、钨、铬、金、银。

6.如权利要求5所述的宽带高灵敏度光电探测器，其特征在于：所述金属层的厚度大于200纳米。

7.如权利要求6所述的宽带高灵敏度光电探测器，其特征在于：所述金属覆盖层的材料为钛、钨或铬。

8.如权利要求7所述的宽带高灵敏度光电探测器，其特征在于：所述金属覆盖层的厚度小于100纳米。

9.如权利要求8所述的宽带高灵敏度光电探测器，其特征在于：所述热电材料部的材料为锆钛酸铅、钽酸锂、铌酸锂、氮化镓、硝酸铯。

10.如权利要求9所述的宽带高灵敏度光电探测器，其特征在于：所述突出部的高度大于100纳米。