[发明专利]一种硫酸双氧水体系的蚀铜加速剂及蚀刻药水有效
| 申请号： | 202010745136.0 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN111850561B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 陈钜;夏海;郝意 | 申请（专利权）人： | 珠海市板明科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;H05K3/06 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 李莹 |
| 地址： | 519000 广东省珠*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硫酸双氧水体系的蚀铜加速剂，由肽、醇和羧酸按照肽：醇：羧酸＝10‑2500：1‑500：1‑2000的重量比比例组成。肽和铜离子形成络合物，有效降低硫酸双氧水体系中催化双氧水分解的铜离子浓度；肽中极性基团还与双氧水形成氢键，避免双氧水受其他组分影响而分解，达到保护双氧水的目的。醇可以有效地让蚀刻药水与铜面充分接触湿润，协助蚀刻药水的起始反应，使蚀刻药水均匀地与铜面进行蚀刻，并保证蚀刻后的铜面色泽均一。蚀铜加速剂还可屏蔽氯离子，避免形成溶于蚀刻药水的氯气，使氯气与双氧水之间的反应受阻，从而解决双氧水与氯气反应致使蚀刻速率下降的问题。该蚀铜加速剂能够将氯离子浓度管控区间从2‑5ppm扩大至2‑10ppm，大大降低了氯离子浓度管控的难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硫酸 双氧水 体系 加速 蚀刻 药水 | ||
【主权项】：
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