[发明专利]一种硫酸双氧水体系的蚀铜加速剂及蚀刻药水有效
| 申请号： | 202010745136.0 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN111850561B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 陈钜;夏海;郝意 | 申请（专利权）人： | 珠海市板明科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;H05K3/06 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 李莹 |
| 地址： | 519000 广东省珠*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硫酸 双氧水 体系 加速 蚀刻 药水 | ||
【权利要求书】：
1.一种硫酸双氧水体系的蚀铜加速剂，其特征在于，由肽、醇和羧酸按照肽：醇：羧酸＝10-2500：1-500：1-2000的重量比比例组成；所述肽由蛋氨酸和赖氨酸脱水形成；
所述醇为异丙醇、乙二醇、丙三醇中的一种或几种；
所述羧酸为乙二酸、2，3-二羟基丁二酸、2-羟基丙烷-1，2，3-三羧酸、2－羟基丁二酸中的一种或几种。
2.一种蚀刻药水，其特征在于，包含硫酸、双氧水以及权利要求1所述的硫酸双氧水体系的蚀铜加速剂，所述肽的浓度为10-2500ppm，所述醇的浓度为10-500ppm，所述羧酸的浓度为1-2000ppm。
3.如权利要求2所述的蚀刻药水，其特征在于，所述肽的浓度为400-1500ppm，所述醇的浓度为150-400ppm，所述羧酸的浓度为100-1000ppm。
4.如权利要求3所述的蚀刻药水，其特征在于，所述肽的浓度为600-1000ppm，所述醇的浓度为200-300ppm，所述羧酸的浓度为400-600ppm。
5.如权利要求2至4任一所述的蚀刻药水，其特征在于，所述硫酸的浓度为60-90g/L，所述双氧水的浓度为10-30g/L。
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