[发明专利]一种用于制作固态薄膜电池的RF和PVD系统在审
| 申请号： | 202010739779.4 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN111850496A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 方辉;邾根祥;陶育飞;朱沫邑 | 申请（专利权）人： | 合肥科晶材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/26;C23C14/54;C23C14/50;H01M4/04;H01M4/08;H01M6/00;H01M10/04 |
| 代理公司： | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人： | 丁孝涛 |
| 地址： | 230000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于制作固态薄膜电池的RF和PVD系统，包括位于手套箱中的真空腔室，真空腔室内装有用于夹装片状基片的样品台，样品台台面朝下布置，样品台下方分别设置有用于向基片表面溅射镀膜形成正极的溅射机构，和用于向基片表面蒸发镀膜形成负极的蒸发机构，本发明结构稳定，布局合理，运行稳定，能够实现对基片进行溅射和蒸发制作正极和负极，实现了薄膜电池电极的制备，满足了现在我国实验室研究使用要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制作 固态 薄膜 电池 rf pvd 系统 | ||
【主权项】：
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