[发明专利]一种基于一体化相移反射镜的剪切散斑干涉系统有效
| 申请号： | 202010725459.3 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN112113500B | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 邵珩;聂中原;周勇;祁俊峰;刘战捷;左洋;李敬洋;陈怡 | 申请（专利权）人： | 北京卫星制造厂有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02015 | 分类号： | G01B9/02015;G01B9/02098;G01B11/16 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 张晓飞 |
| 地址： | 100190*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种基于一体化相移反射镜的剪切散斑干涉系统，由一体化相移反射镜、相机、激光器、扩束镜和被测物组成。一体化相移反射镜包含相移镜和剪切镜，其中相移镜通过相移器连接到一体化相移反射镜基座上，由相移器驱动实现相移；剪切镜通过剪切调节装置连接到一体化相移反射镜基座上，通过剪切调节装置调节剪切镜的姿态；剪切镜为环形，包围相移镜，可以通过调整剪切调节装置使剪切机与相移镜共面，剪切镜内轮廓略大于相移镜外轮廓，使剪切镜可以调整姿态。进行剪切散斑干涉测量时，激光器发射的激光经扩束镜照射到被测物上，被测物反射的激光分别通过剪切镜和相移镜反射进入相机干涉成像。本系统具有激光利用率高、视场较大、受杂散光影响小等优点，特别适于大面积剪切散斑干涉检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 一体化 相移 反射 剪切 干涉 系统 | ||
【主权项】：
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