[发明专利]一种基于一体化相移反射镜的剪切散斑干涉系统

权利要求书

1.一种基于一体化相移剪切反射镜的剪切散斑干涉系统，其特征在于包括：一体化相移剪切反射镜（1）、相机（2）、激光器（3）和扩束镜（4）；

激光器（3）发射出激光的经过扩束镜（4）之后照亮被测物（5），经过被测物（5）反射后得到物光；所述物光经过一体化相移剪切反射镜（1）反射后得到相移光和剪切光；所述相移光和所述剪切光进入所述相机（2）干涉成像，实现剪切散斑干涉测量；

所述一体化相移剪切反射镜（1）为包括相移镜（101）、相移器（102）、剪切镜（103）、剪切调节装置（104）和基座（105）的反射镜系统；相移镜（101）通过相移器（102）与基座（105）相连，剪切镜（103）通过剪切调节装置（104）与基座（105）相连；

所述剪切镜（103）为环形，包围相移镜（101），并且能够通过调整剪切调节装置（104）使剪切镜（103）和相移镜（101）共面；所述剪切镜内轮廓大于相移镜（101）外轮廓，以保证剪切镜（103）能够调节姿态。

2.根据权利要求1所述的一种基于一体化相移剪切反射镜的剪切散斑干涉系统，其特征在于：所述物光经过相移镜（101）反射得到相移光，所述物光经过剪切镜（103）反射得到剪切光；所述相移光和所述剪切光进入所述相机（2）干涉成像。

3.根据权利要求1所述的一种基于一体化相移剪切反射镜的剪切散斑干涉系统，其特征在于：所述相移器（102）为压电陶瓷。

4.根据权利要求1所述的一种基于一体化相移剪切反射镜的剪切散斑干涉系统，其特征在于：所述剪切镜（103）内部空心部分沿相机（2）光轴到相机（2）成像面的投影小于相机（2）光阑最大时沿光轴到成像面的投影。

5.根据权利要求1所述的一种基于一体化相移剪切反射镜的剪切散斑干涉系统，其特征在于：所述剪切调节装置（104）具有至少两个调整轴。

6.根据权利要求1所述的一种基于一体化相移剪切反射镜的剪切散斑干涉系统，其特征在于：所述相移镜（101）、剪切镜（103）均为平面镜。

7.根据权利要求6所述的一种基于一体化相移剪切反射镜的剪切散斑干涉系统，其特征在于：所述相移镜（101）、剪切镜（103）的反射面镀铝或银材料的金属反射膜。

8.根据权利要求6所述的一种基于一体化相移剪切反射镜的剪切散斑干涉系统，其特征在于：所述相移镜（101）、剪切镜（103）的侧面加工成黑色以减少杂散光。