[发明专利]柔性压力传感器及其制备方法、电子装置有效
| 申请号： | 202010723154.9 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN111855029B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 梁魁 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L1/22;G01L9/04;G01L9/12 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种柔性压力传感器及其制备方法、电子装置。柔性压力传感器包括相对设置的第一电极和第二电极，第一电极和第二电极之间设置第一介电层和第二介电层，且第二介电层位于第一介电层和第二电极之间，第一介电层和第二介电层弹性模量不同；第一介电层和第二介电层中至少二者之一的内部具有镂空结构。该柔性压力传感器能够兼顾高灵敏度及大量程的优点。该柔性压力传感器可以通过一模板来制备介电层中的镂空结构，制备方法简单。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 电子 装置 | ||
【主权项】：
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