[发明专利]铝钕合金旋转溅射靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202010710119.3 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN112048703A | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 张玉玲 | 申请（专利权）人： | 基迈克材料科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C22C21/00;C22C1/02;C22F1/04;C25D11/08;C25D11/10 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 孔令聪 |
| 地址： | 215200 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种铝钕合金旋转溅射靶材及其制备方法。铝钕合金旋转溅射靶材包括本体，本体的最外层为氧化层，本体包括溅射端和分别位于溅射端两边的安装端，溅射端与安装端为一体成型。上述铝钕合金旋转溅射靶材中，一方面，溅射端与安装端为一体成型，这样能够避免焊接质量不良影响溅射效果；另一方面，本体的最外层为氧化层，保证了本体具有足够的硬度，从而不易损坏。上述整体使得本发明的铝钕合金旋转溅射靶材有利于应用。 | ||
| 搜索关键词： | 合金 旋转 溅射 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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