[发明专利]铝钕合金旋转溅射靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种铝钕合金旋转溅射靶材，其特征在于，所述铝钕合金旋转溅射靶材包括本体，所述本体的最外层为氧化层，所述本体包括溅射端和分别位于所述溅射端两边的安装端，所述溅射端与所述安装端为一体成型。

2.根据权利要求1所述的铝钕合金旋转溅射靶材，其特征在于，所述氧化层的厚度为20μm～35μm。

3.一种铝钕合金旋转溅射靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

按照原子百分比，将95％～99.9％的铝和0.1％～5％的钕混匀并熔炼，之后依次浇铸成型、挤压处理与退火处理，得到前体；

对所述前体进行表面硬质氧化处理，以在所述前体的表面形成氧化层，之后进行机加处理，得到铝钕合金旋转溅射靶材；所述铝钕合金旋转溅射靶材包括本体，所述本体的最外层为氧化层，所述本体包括溅射端和分别位于所述溅射端两边的安装端，所述溅射端与所述安装端为一体成型。

4.根据权利要求3所述的铝钕合金旋转溅射靶材的制备方法，其特征在于，将铝和钕混匀的步骤为：先加入铝锭，再加入钕块。

5.根据权利要求3所述的铝钕合金旋转溅射靶材的制备方法，其特征在于，熔炼的条件为：于1100℃～1200℃温度范围内熔炼20min～60min，扒渣后加入细化剂混匀后静置，得到混合金属液。

6.根据权利要求5所述的铝钕合金旋转溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述浇铸成型的步骤为：对熔炼后的混合金属液进行半连续铸造，得到预设尺寸的铸棒；铸造的过程中，浇铸温度为685℃～715℃，浇铸速度为80mm/min～100mm/min。

7.根据权利要求6所述的铝钕合金旋转溅射靶材的制备方法，其特征在于，浇铸成型之后、挤压处理之前，还包括对浇铸成型后的铸棒进行第一次机加处理的步骤；

所述第一次机加处理的步骤为：切割掉所述铸棒的头尾两端偏析区以及外表面上的氧化皮，以达到预设挤压前尺寸。

8.根据权利要求7所述的铝钕合金旋转溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述挤压处理的步骤为：将第一次机加处理后的铸棒加热到320℃～380℃，将模具和挤压针加热到350℃～450℃，挤压前清理模具的内筒，之后维持挤压速度为0.5m/min～1.0m/min，直至挤压得到具有预设尺寸的挤压毛坯。

9.根据权利要求8所述的铝钕合金旋转溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述退火处理的步骤为：将所述挤压毛坯于250℃～400℃温度范围内保温2h～5h，之后冷却，得到退火处理后的挤压毛坯。

10.根据权利要求9所述的铝钕合金旋转溅射靶材的制备方法，其特征在于，退火处理之后、表面硬质氧化处理之前，还包括对所述退火处理后的挤压毛坯进行第二次机加处理的步骤；

所述第二次机加处理的步骤为：将所述退火处理后的挤压毛坯的两端加工至成品尺寸，将退火后的挤压毛坯的溅射区加工留出预设余量，得到前体。

11.根据权利要求3所述的铝钕合金旋转溅射靶材的制备方法，其特征在于，表面硬质氧化处理的步骤为：采用酸液处理所述前体的表面，并进行封孔处理，以在所述前体的表面形成氧化层。

12.根据权利要求11所述的铝钕合金旋转溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述酸液为硫酸溶液或者草酸溶液；所述酸液的质量百分比浓度为10％～30％。