[发明专利]一种激光复合扫描近场光学显微镜探针的纳米加工方法在审
| 申请号： | 202010709509.9 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN111843386A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 崔健磊;王学文;梅雪松;王文君;凡正杰;刘斌;孙铮;段文强 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;B23K26/00 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种激光复合扫描近场光学显微镜探针的纳米加工方法，先通过磁控溅射仪在硅片基底表面溅射一层银薄膜，然后搭建激光复合SNOM探针加工平台，实现SNOM探针的精准位置控制以及激光与SNOM探针针尖小孔的精确复合加工，最后设置激光参数并在样品表面进行纳米结构加工；本发明同时利用SNOM探针针尖的高精度，以及激光在针尖产生的高瞬时能量等特点对银薄膜表面进行纳米结构加工，工艺简单，加工效率高，可大规模使用，加工产生的结构尺寸满足纳米结构的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 复合 扫描 近场 光学 显微镜 探针 纳米 加工 方法 | ||
【主权项】：
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