[发明专利]一种激光复合扫描近场光学显微镜探针的纳米加工方法

权利要求书

1.一种激光复合扫描近场光学显微镜探针的纳米加工方法，其特征在于：包括以下步骤：

1)制备样片；通过磁控溅射仪在硅片基底表面溅射一层50nm厚度的银薄膜；

2)搭建激光复合SNOM探针加工平台：

搭建光路，光路包括光纤激光器、原子力显微镜及其控制系统，SNOM探针和光学成像系统(CCD相机)，将光纤激光器发出的激光聚焦于SNOM探针针尖小孔处，并实时对激光功率进行调节；

搭建好光路后，将样片固定在下方为压电陶瓷管的载物台上；

3)设置激光参数并进行加工：采用激光复合SNOM探针加工平台进行纳米结构加工，激光的具体参数为：波长为808nm的连续激光，30-50mW的激光能量辐照SNOM探针针尖小孔，在样片的银薄膜上制造得到纳米级结构。

2.根据权利要求1所述的一种激光复合扫描近场光学显微镜探针的纳米加工方法，其特征在于，所述的步骤2)中搭建光路的具体步骤为：将光纤激光器发出的激光垂直照射在SNOM(扫描近场光学显微镜)探针针尖小孔处；利用AFM(原子力显微镜)作为SNOM探针控制器，并添加光学成像系统(CCD相机)进行位置观察，用于检测激光、光电检测器与SNOM探针微悬臂的调控；通过AFM的控制系统，经检测激光、光电检测器、反馈系统、压电陶瓷管控制SNOM探针与样片间的距离，使SNOM探针与样片表面保持纳米级别的距离。

3.根据权利要求1所述的一种激光复合扫描近场光学显微镜探针的纳米加工方法，其特征在于，所述的步骤3)中设置激光参数并进行加工，具体步骤为：

a、将AFM设置为轻敲模式，通过AFM的控制系统调整SNOM探针的位置，对样品80×80μm²范围内的银薄膜进行扫描，得到其表面形貌，然后退针；

b、将光纤激光器发出的圆形光斑激光束进行聚焦，并将焦点调至SNOM探针上方1cm处，采用焦后复合加工；

c、将AFM设置为轻敲模式，再次进针后开始进行扫描，并同时打开光纤激光器，设置输入激光功率为30-50mW，进行加工；扫描完成后，关闭光纤激光器。