[发明专利]电化学沉积系统有效
| 申请号： | 202010684054.X | 申请日： | 2020-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN112239881B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 阿瑟·凯格勒;戴夫·瓜尔纳烚;德梅特留斯·帕帕帕纳约图;乔恩·汉德;罗伯特·穆恩 | 申请（专利权）人： | 先进尼克斯有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D17/06;C25D21/10;C25D5/02;H01L21/288 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人： | 艾晶 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于将金属沉积到工件上的电化学沉积系统，包括：适于容纳镀覆液的沉积室；用于将工件固持于第一平面中的工件固持器；用于将屏蔽件固持于基本上平行于所述第一平面的第二平面中的屏蔽件固持器；以及具有异型表面以搅动所述镀覆液的搅动板，其中所述工件固持器、所述屏蔽件固持器以及所述搅动板均适于插入所述沉积室中并从所述沉积室中移除。所述电化学沉积系统还包括致动器，所述致动器可操作为当所述工件固持器和所述屏蔽件固持器位于所述沉积室内时，在垂直于所述第一平面和所述第二平面的方向上改变它们之间的相对距离。 | ||
| 搜索关键词： | 电化学 沉积 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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