[发明专利]电化学沉积系统

权利要求书

1.一种用于将金属沉积到工件的沉积区域上的电化学沉积系统，其包括：

适于在使用中容纳镀覆液的沉积室；

用于将工件固持于第一平面中的工件固持器；

屏蔽件，

用于将所述屏蔽件固持于基本平行于所述第一平面的第二平面中的屏蔽件固持器，以使所述屏蔽件在使用中面向所述沉积区域，所述屏蔽件固持器在沉积期间将所述屏蔽件与所述工件间隔开2至6mm的间隙距离；

其中，所述屏蔽件包括具有基本上平坦的板，所述板中形成有孔的图案，在沉积期间，所述孔的图案基本上对应于位于所述工件上的特征的位置；

具有异型表面以在使用中搅动镀覆液的搅动板；

其中，所述工件固持器、所述屏蔽件固持器以及所述搅动板均适于插入所述沉积室中并从所述沉积室中移除，

其中，所述电化学沉积系统还包括致动器，所述致动器可操作为当所述工件固持器和所述屏蔽件固持器位于所述沉积室内时，在垂直于所述第一平面和所述第二平面的方向上改变它们之间的相对距离，并且相应地在沉积期间改变所述屏蔽件和所述工件之间的间隙距离，

其中，所述搅动板和所述屏蔽件固持器组装在一起作为插芯插入所述沉积室中并从所述沉积室中移除。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述搅动板安装在所述屏蔽件固持器上。

3.根据权利要求2所述的系统，其中，所述搅动板可移动地安装在所述屏蔽件固持器上，以允许其在与所述第一平面平行的方向上相对运动。

4.根据权利要求1所述的系统，其包括至少一个额外插芯，其用于插入所述沉积室中并从所述沉积室中移除。

5.根据权利要求1所述的系统，其中，所述图案包括在所述板的平面范围内周期性重复的多个子图案。

6. 根据权利要求5所述的系统，其中，所述周期在5至100 mm的范围内。

7. 根据权利要求1所述的系统，其中，所述致动器可操作以改变所述工件固持器与所述屏蔽件固持器之间的相对距离，以便在使用中，使所述屏蔽件和所述工件的相对表面在所述沉积室内的所述间隙距离为2至6 mm。

8.根据权利要求1所述的系统，其中，所述致动器包括电动致动器、气动致动器和液压致动器中的一种。

9.根据权利要求1所述的系统，其包括搅拌致动器，当所述搅拌致动器插入所述沉积室内时，其可操作地连接至所述搅动板，以使所述插入的所述搅动板在平行于所述第一平面的方向上进行往复直线运动。

10.根据权利要求9所述的系统，其包括在所述搅动板和所述搅拌致动器之间的联轴器；当所述搅动板插入所述沉积室时，所述联轴器接合；当从所述沉积室中移除所述搅动板时，所述联轴器分离。

11.根据权利要求10所述的系统，其中，所述联轴器包括磁性联轴器。

12.根据权利要求1所述的系统，其中，所述搅动板定位于所述屏蔽件固持器和所述工件固持器之间。

13.一种用于在电化学沉积系统中以将目标材料沉积到工件的沉积区域上的插芯，其包括：

具有异型表面以在使用中搅动液体的搅动板；

屏蔽件，包括基本上平坦的板，所述板中形成有孔的图案，在沉积期间，所述孔的图案基本上对应于位于所述工件上的特征的位置；以及

用于固持屏蔽件的屏蔽件固持器以使屏蔽件在使用中面向所述沉积区域，并且在沉积期间将所述屏蔽件与所述工件间隔开2至6mm的间隙距离。

14.根据权利要求13所述的插芯，其中，所述图案包括在所述板的平面范围内周期性重复的多个子图案。