[发明专利]连熔法生产大尺寸石英筒工艺、石英筒及其应用有效
| 申请号： | 202010676199.5 | 申请日： | 2020-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN111792821B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 陈士斌;刘明伟;钱卫刚;周明强;徐同根;许志仁;何茂乾;陈加田 | 申请（专利权）人： | 江苏太平洋石英股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 北京华专卓海知识产权代理事务所(普通合伙) 11664 | 代理人： | 王一 |
| 地址： | 222342 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种连熔法生产大尺寸石英筒工艺，包括如下步骤：连熔炉预热，添加原材料，石英筒成型，拉制石英筒，使所述石英筒被缓慢匀速拉出；石英筒尺寸调节，通过调整所述石英筒承接机构与石英筒之间的向上的支撑力和挤压摩擦力，改变所述石英筒的拉出速率，获得所需尺寸的所述石英筒，所述石英筒的直径为300‑600mm，壁厚为20‑100mm；石英筒切割，对输出稳定的所述石英筒进行切割。可应用于半导体加工，高温制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 连熔法 生产 尺寸 石英 工艺 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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