[发明专利]一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置在审
| 申请号: | 202010669534.9 | 申请日: | 2020-07-13 |
| 公开(公告)号: | CN111996584A | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
| 发明(设计)人: | 陈永贵;张培林;武建军;柴利春;张作文;王志辉 | 申请(专利权)人: | 大同新成新材料股份有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人: | 杨凯;连慧敏 |
| 地址: | 037002 *** | 国省代码: | 山西;14 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置,包括底座,所述底座顶部一侧的中间位置处设置有坩埚座,所述坩埚座内底部设置有坩埚,所述底座顶部远离坩埚座一侧的中间位置处设置有支撑柱,所述支撑柱的顶部设置有电机,所述电机的输出端设置有转轴,所述转轴的顶部设置有固定板C,所述固定板C底部的边缘处均匀设置有多组电动气缸A,所述电动气缸A的输出端设置有固定板B;本发明装置通过在钳子上加盖子,使用石墨坩埚时,加工结束后,即使状态可能是液体,钳子在夹取的时候上面的盖板会将坩埚口给盖住,工作人员在取出的时候,就会安全一些,液体也不会洒落,减少了对工作人员的伤害。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 单晶炉 半导体 石墨 坩埚 提升 装置 | ||
【主权项】:
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