[发明专利]一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置

说明书

本发明公开了一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置，包括底座，所述底座顶部一侧的中间位置处设置有坩埚座，所述坩埚座内底部设置有坩埚，所述底座顶部远离坩埚座一侧的中间位置处设置有支撑柱，所述支撑柱的顶部设置有电机，所述电机的输出端设置有转轴，所述转轴的顶部设置有固定板C，所述固定板C底部的边缘处均匀设置有多组电动气缸A，所述电动气缸A的输出端设置有固定板B；本发明装置通过在钳子上加盖子，使用石墨坩埚时，加工结束后，即使状态可能是液体，钳子在夹取的时候上面的盖板会将坩埚口给盖住，工作人员在取出的时候，就会安全一些，液体也不会洒落，减少了对工作人员的伤害。

技术领域

本发明涉及石墨坩埚技术领域，具体为一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置。

背景技术

拉晶结束后取出石墨坩埚时，如果是小型的热场，即使采用人力也不算费力，但是近年热场正在越来越大型化，用人力来对应就变得越来越难，另外，为了能够让包围在石墨坩埚外周的加热器高效加热溶解石墨坩埚内盛放的原料硅，在加热时尽量将石墨坩埚放置在加热器内部，此外，通常坩埚轴的行程范围只能满足拉晶的最低需要，即确保到达拉晶用的装料位置和化料位置等；

现有装置具有以下几点不足之处：

1.加工开始向石墨坩埚内注入材料，工作人员在进行装料时，需要转动着来将石墨坩埚一个一个的装满，这样消耗了大量的人力，耗时耗力；

2.加工结束后取出石墨坩埚时，如果是小型的热场，即使采用人力也不算费力，但是近年热场正在越来越大型化，用人力来对应就变得越来越难；

3.使用石墨坩埚时，在加工完成结束后，状态可能是液体，如果坩埚不加盖子，工作人员在取出的时候，会很不安全，会由于液体洒落，烫伤工作人员。

发明内容

本发明的目的在于提供一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置，以解决上述背景技术中提出1.加工开始向石墨坩埚内注入材料，工作人员在进行装料时，需要转动着来将石墨坩埚一个一个的装满，这样消耗了大量的人力，耗时耗力；2.加工结束后取出石墨坩埚时，如果是小型的热场，即使采用人力也不算费力，但是近年热场正在越来越大型化，用人力来对应就变得越来越难；3.使用石墨坩埚时，在加工完成结束后，状态可能是液体，如果坩埚不加盖子，工作人员在取出的时候，会很不安全，会由于液体洒落，烫伤工作人员的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置，包括底座，所述底座顶部一侧的中间位置处设置有坩埚座，所述坩埚座内底部设置有坩埚，所述底座顶部远离坩埚座一侧的中间位置处设置有支撑柱，所述支撑柱的顶部设置有电机，所述电机的输出端设置有转轴，所述转轴的顶部设置有固定板C，所述固定板C底部的边缘处均匀设置有多组电动气缸A，所述电动气缸A的输出端设置有固定板B，所述固定板B内部的一端设置有固定板A，所述固定板A内部的一端设置有夹持板A，所述固定板A内部远离夹持板A一端的中间位置处设置有电动气缸B，所述电动气缸B的输出端设置有夹持板B，所述夹持板B与夹持板A相互铰接，所述底座一端一侧的中间位置处设置有控制面板，所述控制面板通过导线分别与电动气缸A、电机、电动气缸B电连接。

优选的，所述底座的底部设置有多组支撑腿。

优选的，所述支撑柱外侧的底部均匀设置有支撑板。

优选的，所述电机的外部设置有安装仓，并且安装仓的一端设置有仓盖。

优选的，所述夹持板A与相互连接，所述夹持板A远离固定板B一侧的底部与所述夹持板B远离电动气缸B一侧的底部分别设置有盖板。

优选的，所述电机与转轴之间通过轴承连接。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：该单晶炉半导体石墨坩埚提升装置；