[发明专利]多个带电粒子束的装置有效
| 申请号： | 202010663424.1 | 申请日： | 2016-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN111681939B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 任伟明;刘学东;胡学让;陈仲玮 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/06;H01J37/12;H01J37/141;H01J37/145;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吕世磊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提出了一种用于以高分辨率和高生产能力观察样本的多束装置。在该装置中，源转换单元通过使来自一个单电子源的平行初级电子束的多个小束偏转来形成该单电子源的多个且平行的图像，并且一个物镜将多个偏转的小束聚焦到样本表面上，并在样本表面上形成多个探测点。可移动聚光透镜用于使初级电子束准直，并改变多个探测点的电流，预小束形成部件弱化初级电子束的库仑效应，并且源转换单元通过最小化并补偿物镜和聚光透镜的离轴像差来最小化多个探测点的尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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