[发明专利]二维过渡金属硫族化合物及其制备方法和器件在审

专利信息
申请号: 202010655095.6 申请日: 2020-07-09
公开(公告)号: CN111893456A 公开(公告)日: 2020-11-06
发明(设计)人: 刘碧录;冯思敏;成会明;谭隽阳 申请(专利权)人: 清华-伯克利深圳学院筹备办公室
主分类号: C23C16/30 分类号: C23C16/30;C23C16/44
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 刘方
地址: 518000 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种二维过渡金属硫族化合物及其制备方法和器件,该制备方法包括以下步骤:取液态过渡金属源覆于衬底上;利用载气将液态硫族源输送至所述衬底处,所述硫族源为硫醇、硒醇或碲醇,在密闭环境内进行加热反应得到二维过渡金属硫族化合物。本发明利用液态的过渡金属源和液态的硫族源作为反应前驱体,容易通过控制反应前驱体的浓度来构建稳定的前驱体浓度场生长体系,从而促进了过渡金属硫族化合物的均匀成核和生长,使得制备得到的过渡金属硫族化合物材料的形貌、厚度、晶畴尺寸在衬底上的密度分布更加均匀,具有优异的光学、电学性质和广阔的应用前景。
搜索关键词: 二维 过渡 金属 化合物 及其 制备 方法 器件
【主权项】:
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