[发明专利]蚀刻液组合物在审
| 申请号： | 202010646173.6 | 申请日： | 2020-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN113073327A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 金益儁;朴相承;金载烨;李宝研;金世训 | 申请（专利权）人： | 易安爱富科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23F1/26;C23F1/02;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 金世煜;李书慧 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及选择性地蚀刻用作TFT‑LCD显示器的电极的铜膜和含钼膜的蚀刻液组合物，根据本发明，可以提供铜膜和含钼膜的蚀刻液组合物，该蚀刻液组合物能够实现对铜膜和含钼膜的选择性的蚀刻，通过容易的蚀刻速度的控制，可以提供具有目标图案的直线性和锥角的金属配线，实现稳定的蚀刻轮廓，从而不仅可实现高处理张数，而且对大面积处理有效。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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