[发明专利]温控系统及温控方法有效
| 申请号： | 202010643644.8 | 申请日： | 2020-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN111538360B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 宋朝阳;冯涛;靳李富;芮守祯;何茂栋;曹小康 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 吴欢燕 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及温控系统及温控方法温控系统，温控系统包括控制器、冷却水回路和循环液回路，冷却水回路包括阀体和用于冷却水流通的热交换器的吸热通路，循环液回路包括第一温度传感器、用于循环液流通的热交换器的放热通路和用于储存循环液的循环液箱，循环液箱的进液管路与热交换器的放热通路的出液管路连通；阀体设置于热交换器的吸热通路的出水管路上，第一温度传感器设置于循环液箱的进液管路上，第一温度传感器通过控制器与阀体通信连接，以通过第一温度传感器的检测信息控制阀体的开度。实现精确控制循环液箱的循环液入口温度以满足不同温度的工况，保证系统运行在稳定可靠的状态下满足晶圆或面板生产工艺的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 温控 系统 方法 | ||
【主权项】：
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