[发明专利]一种电容式脉冲光探测器在审

专利信息
申请号: 202010619568.7 申请日: 2020-07-01
公开(公告)号: CN111678596A 公开(公告)日: 2020-09-18
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 西安柯莱特信息科技有限公司
主分类号: G01J1/46 分类号: G01J1/46
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 710119 陕西省西安市高新区高*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明提供了一种电容式脉冲光探测器,底部极板置于衬底上,隔离部置于底部极板上,顶部极板置于隔离部上,顶部极板与底部极板相对,顶部极板与底部极板间形成空腔,光声材料部置于空腔上方的顶部极板上。应用时,待测脉冲光照射光声材料部,光声材料部产生声波。在声波作用下,顶部极板振动,改变了顶部极板与底部极板之间的距离,从而改变了顶部极板与底部极板之间的电容,通过测量该电容实现脉冲光辐照能量的探测。因为电容器的电容对两极板之间的距离非常敏感,所以本发明具有探测灵敏度高的优点。此外,本发明制备简单、测量电容的电路成熟,所以本发明还具有成本低的优点。
搜索关键词: 一种 电容 脉冲 探测器
【主权项】:
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