[发明专利]一种电容式脉冲光探测器在审
申请号: | 202010619568.7 | 申请日: | 2020-07-01 |
公开(公告)号: | CN111678596A | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 西安柯莱特信息科技有限公司 |
主分类号: | G01J1/46 | 分类号: | G01J1/46 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710119 陕西省西安市高新区高*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明提供了一种电容式脉冲光探测器,底部极板置于衬底上,隔离部置于底部极板上,顶部极板置于隔离部上,顶部极板与底部极板相对,顶部极板与底部极板间形成空腔,光声材料部置于空腔上方的顶部极板上。应用时,待测脉冲光照射光声材料部,光声材料部产生声波。在声波作用下,顶部极板振动,改变了顶部极板与底部极板之间的距离,从而改变了顶部极板与底部极板之间的电容,通过测量该电容实现脉冲光辐照能量的探测。因为电容器的电容对两极板之间的距离非常敏感,所以本发明具有探测灵敏度高的优点。此外,本发明制备简单、测量电容的电路成熟,所以本发明还具有成本低的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 电容 脉冲 探测器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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