[发明专利]一种电容式脉冲光探测器

权利要求书

1.一种电容式脉冲光探测器，其特征在于，包括：衬底、底部极板、隔离部、顶部极板、光声材料部，所述衬底和所述隔离部为绝缘材料，所述顶部极板和所述底部极板为导电材料，所述底部极板置于所述衬底上，所述隔离部置于所述底部极板上，所述顶部极板置于所述隔离部上，所述顶部极板与所述底部极板相对，所述顶部极板与所述底部极板间形成空腔，所述光声材料部置于所述空腔上方的所述顶部极板上。

2.如权利要求1所述的电容式脉冲光探测器，其特征在于：所述底部极板为圆形，所述隔离部为环形，所述顶部极板为圆形。

3.如权利要求2所述的电容式脉冲光探测器，其特征在于：所述光声材料部为圆形，所述光声材料部置于所述顶部极板的中心位置。

4.如权利要求3所述的电容式脉冲光探测器，其特征在于：在所述顶部极板的所述空腔一侧具有突出部，所述突出部为导电材料。

5.如权利要求4所述的电容式脉冲光探测器，其特征在于：所述突出部位于所述顶部极板的中心位置。

6.如权利要求5所述的电容式脉冲光探测器，其特征在于：所述顶部极板的尺寸小于所述底部极板的尺寸。

7.如权利要求1-6任一项所述的电容式脉冲光探测器，其特征在于：在所述衬底的所述底部极板一侧设有吸声膨胀部。

8.如权利要求7所述的电容式脉冲光探测器，其特征在于：所述吸声膨胀部设置在所述衬底表面的凹槽内，所述凹槽位于所述底部极板的中心位置。

9.如权利要求8所述的电容式脉冲光探测器，其特征在于：所述光声材料部的材料为碳粉、石墨烯和聚合物的混合物。

10.如权利要求9所述的电容式脉冲光探测器，其特征在于：所述底部极板的材料为金属，所述顶部极板的材料为金属薄膜、石墨烯层或碳纳米管层。