[发明专利]一种抗位移辐射加固的MOS栅控晶闸管有效
| 申请号: | 202010611113.0 | 申请日: | 2020-06-30 |
| 公开(公告)号: | CN111739929B | 公开(公告)日: | 2022-03-08 |
| 发明(设计)人: | 李泽宏;李磊;吴玉舟;任敏;张波 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
| 主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/745;H01L29/749 |
| 代理公司: | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人: | 敖欢 |
| 地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | 本发明提供了一种抗位移辐射加固的MOS栅控晶闸管,属于功率器件技术领域;所述MOS栅控晶闸管自上而下主要包括金属阴极、第一阱区、第二阱区、衬底、第三阱区、阳极掺杂层和金属阳极;第三阱区和金属阳极短接,实现零栅压条件下的正向耐压;衬底和第三阱区为同型掺杂,第三阱区的掺杂浓度高于衬底;第二阱区和第三阱区为缓变掺杂区;衬底为低掺杂区。基于本发明器件结构能够提高MOS栅控晶闸管抗位移辐照的能力。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 位移 辐射 加固 mos 晶闸管 | ||
【主权项】:
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