[发明专利]阵列基板及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202010603766.4 申请日: 2020-06-29
公开(公告)号: CN111653687A 公开(公告)日: 2020-09-11
发明(设计)人: 张盼龙 申请(专利权)人: 云谷(固安)科技有限公司
主分类号: H01L51/52 分类号: H01L51/52;H01L27/12;H01L27/32;H01L21/77
代理公司: 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 代理人: 赵文静
地址: 065500 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 本申请提供了一种阵列基板及其制备方法。该阵列基板包括:衬底、金属隔离层和保护层。其中,衬底包括显示区和非显示区;金属隔离层位于非显示区,且围合形成一个开孔区域;保护层至少包覆金属隔离层的侧壁。由于保护层至少包覆金属隔离层的侧壁,可以避免后续对电极层进行刻蚀的过程中,刻蚀溶液与金属隔离层的侧壁发生置换反应,从而避免置换反应产生的金属颗粒影响阵列基板的正常工作,进而避免置换反应产生的金属颗粒造成的显示不良。
搜索关键词: 阵列 及其 制备 方法
【主权项】:
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