[发明专利]一种半导体芯片生产用接近式光刻机

摘要

本发明公开了一种半导体芯片生产用接近式光刻机,其结构包括光刻机、柜门、观察窗、底座、应急板、控制面板、连接杆，光刻机嵌固连接在底座上方，光刻机包括机体、倾斜器、调平装置，调平装置嵌固连接在机体内部且在倾斜器中部下方位置，本发明通过将半导体芯片放置在载芯台上方，载芯台下方中部的伸缩撑杆，进行调节，同时配合辅小调向器，能够避免载芯台偏移的情况出现，导致光刻精度不足的情况，通过万向台对置放调节机构进行较大角度的调整工作，使其进入到平整状态，滑动器在进行调整时能够对滑槽块进行巩固，万向台两侧的调节器能够在对置放调节机构进行支撑时，还能起到一定辅助调整工作，从而进一步提高调节性能。