[发明专利]一种掩膜板清洗设备及掩膜板清洗方法有效
| 申请号： | 202010595339.6 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN111748768B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 陈策;周元;欧凌涛 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56;B08B1/04;G03F1/82;G03F1/84;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 李新干 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了提供一种掩膜板清洗设备及掩膜板清洗方法，所述掩膜板清洗设备包括：载物台，用以承载待检测的掩膜板；定位模组，用以对所述掩膜板的各个区域进行定位检测；摄像模组，用以获取所述掩膜板当前区域的实时图像；控制器，电连接至所述摄像模组和所述定位模组；以及清洁机构，电连接至所述控制器，所述清洁机构用以执行控制器发出的控制指令，包括当所述控制器检测出所述掩膜板当前区域的实时图像与当前区域的预存图像之间存在差异时，所述清洁机构用以执行所述控制器发出的清洁当前区域的指令。本申请可以有效提高蒸镀图案的良率，并防止设备频繁宕机、材料被空蒸的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 清洗 设备 方法 | ||
【主权项】：
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