[发明专利]数据处理装置、数据处理方法和程序在审
| 申请号： | 202010586197.7 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN112149268A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 茂木弘典;加藤隆彦 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20;G06F111/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;王海奇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供数据处理装置、数据处理方法和程序，提高制造工艺的模拟的精度。具有：第1储存部，其储存有以根据针对与制造工艺的规定的步骤建立了对应的多个数据组分别计算出的在该规定的步骤中的效果，对该多个数据组各自在特征空间中的分布进行分类的方式，对该特征空间进行了分割的情况下的确定各区域的解析结果；第2储存部，其将通过被输入被分类于所述特征空间的各区域的数据组而输出与各区域对应的各个效果的多个模型，与各区域建立了对应并储存；以及执行部，其在新取得与所述规定的步骤建立了对应的数据组并基于所述解析结果而判定出该取得的数据组被分类的1个区域的情况下，使用与该1个区域建立了对应地储存的模型进行模拟处理。 | ||
| 搜索关键词： | 数据处理 装置 方法 程序 | ||
【主权项】：
暂无信息
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