[发明专利]数据处理装置、数据处理方法和程序

权利要求书

1.一种数据处理装置，其具有：

第1储存部，其储存有以根据针对与制造工艺的规定的步骤建立了对应的多个数据组分别计算出的在该规定的步骤中的效果，对该多个数据组各自在特征空间中的分布进行分类的方式，对该特征空间进行了分割的情况下的确定各区域的解析结果；

第2储存部，其将通过被输入被分类于所述特征空间的各区域的数据组而输出与各区域对应的各个效果的多个模型，与各区域建立了对应并储存；以及

执行部，其在新取得与所述规定的步骤建立了对应的数据组并基于所述解析结果判定出该取得的数据组被分类的1个区域的情况下，使用与该1个区域建立了对应地储存的模型，进行模拟处理。

2.根据权利要求1所述的数据处理装置，其中，

该数据处理装置还具有选择部，在与所述1个区域建立了对应地储存多个模型的情况下，该选择部基于规定的选择指标而选择1个模型。

3.根据权利要求2所述的数据处理装置，其中，

所述选择指标中包含对执行所述规定的步骤的装置的状态、执行所述规定的步骤的装置内的气氛、执行了所述规定的步骤时的处理对象物的经时变化中任一者进行预测得到的预测结果。

4.根据权利要求2所述的数据处理装置，其中，

所述选择指标中包含对执行所述规定的步骤的装置的种类、以及对执行所述规定的步骤时的状态的变化进行测定的装置内的位置中任一者进行判别得到的判别结果。

5.根据权利要求1所述的数据处理装置，其中，

该数据处理装置还具有判定部，在新取得了与所述规定的步骤建立了对应的数据组的情况下，该判定部基于所述解析结果，判定该取得的数据组被分类于所述特征空间的各区域中的哪个区域。

6.一种数据处理装置的数据处理方法，其中，该数据处理装置具有：

第1储存部，其储存有以根据针对与制造工艺的规定的步骤建立了对应的多个数据组分别计算出的在该规定的步骤中的效果，对该多个数据组各自在特征空间中的分布进行分类的方式，对该特征空间进行了分割的情况下的确定各区域的解析结果；以及

第2储存部，其将通过被输入被分类于所述特征空间的各区域的数据组而输出与各区域对应的各个效果的多个模型，与各区域建立了对应并储存，

在该数据处理装置的数据处理方法中，具有如下的执行工序，在新取得与所述规定的步骤建立了对应的数据组，并基于所述解析结果而判定出该取得的数据组被分类的1个区域的情况下，使用与该1个区域建立了对应地储存的模型，进行模拟处理。

7.一种程序，其用于使数据处理装置的计算机执行如下执行工序，其中，该数据处理装置具有：

第1储存部，其储存有以根据针对与制造工序的规定的步骤建立了对应的多个数据组分别计算出的在该规定的步骤中的效果，对该多个数据组各自在特征空间中的分布进行分类的方式，对该特征空间进行了分割的情况下的确定各区域的解析结果；以及

第2储存部，其将通过被输入被分类于所述特征空间的各区域的数据组而输出与各区域对应的各个效果的多个模型，与各区域建立了对应并储存，

在该执行工序中，在新取得与所述规定的步骤建立了对应的数据组并基于所述解析结果判定出该取得的数据组被分类的1个区域的情况下，使用与该1个区域建立了对应地储存的模型，进行模拟处理。