[发明专利]一种薄膜声波滤波器及其制造方法在审
| 申请号： | 202010561542.1 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN112039472A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 黄河;罗海龙;李伟 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H01L41/09;H01L41/08;H01L41/311 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种薄膜声波滤波器及其制造方法，其中，薄膜声波滤波器包括：第一基板，第一基板包括相对的第一表面和第二表面；第一表面设有第一空腔；声波谐振器单元，设置于第一基板上，并遮盖第一空腔，声波谐振器单元包括第一电极、压电层和第二电极；其中第一电极和第二电极分别设置于压电层的两个相对表面；或者，第一电极和第二电极均设置于压电层朝向第一空腔的一侧，且相对设置；第一通孔，贯穿第一基板，延伸至第一电极；第二通孔，贯穿第一基板，延伸至第二电极；导电层，覆盖第一通孔和第二通孔的内壁以及第一基板的第二表面；电感和/或电容，位于第一基板的第二表面侧。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 滤波器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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