[发明专利]阵列化光波导柔性触觉传感器的制备方法有效
申请号: | 202010552912.5 | 申请日: | 2020-06-17 |
公开(公告)号: | CN111505764B | 公开(公告)日: | 2021-04-27 |
发明(设计)人: | 赵慧婵;周婧祎;刘辛军;乔飞 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G02B6/10 | 分类号: | G02B6/10;G01L1/24;G01N21/84;G01N21/88 |
代理公司: | 北京中索知识产权代理有限公司 11640 | 代理人: | 胡大成 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 阵列化光波导柔性触觉传感器的制备方法,触觉传感器包括依次胶接的柔性光波导触觉敏感层、柔性电路层和柔性衬底层。柔性光波导触觉敏感层包括若干条呈阵列式分布的光波导内芯,以及整体式包覆光波导内芯的光波导包层。柔性电路层包括发光供电端和光信号接收处理端,发光供电端产生光信号,光信号经光波导传输至光信号接收处理端,被光信号接收处理端转变为电信号,并以无线信号方式发送出去。柔性衬底层由柔性材料制成,起保护与辅助固定作用。本发明的触觉传感器可用于触觉信息采集与处理,具有柔顺性高、灵敏度高、空间分辨密度高等优点。结构简单,功耗低,与待测环境集成方便,且在传感面积增加时具有数据代价低的优势。 | ||
搜索关键词: | 阵列 波导 柔性 触觉 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】:
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