[发明专利]阵列化光波导柔性触觉传感器的制备方法

权利要求书

1.阵列化光波导柔性触觉传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1、制作柔性光波导触觉敏感层，具体包括：制作柔性光波导触觉敏感层的外形模具以及光波导内芯模具；将所述外形模具与光波导内芯模具装配组成柔性光波导触觉敏感层的模具；将第一液态弹性体注入柔性光波导触觉敏感层的模具空腔，静置加热至第一液态弹性体完全固化，打开外形模具，并取出光波导内芯模具，得到光波导包层；将第二液态弹性体注入光波导包层中空洞中，静置加热至第二液态弹性体完全固化，得到光波导内芯；

步骤S2、制作柔性电路层并与柔性光波导触觉敏感层装配，具体包括：设计发光供电端与光信号接收处理端的电路并印刷在柔性电路板上，焊接并调试电路元件，将光波导内芯两端分别与光波导供电端以及光信号接收处理端对齐并固连装配；

步骤S3、制作柔性衬底层并封装，具体包括：制备柔性衬底层的模具，将第三液态弹性体经均匀脱泡处理后，注入柔性衬底层的模具中，加热静置至第三液态弹性体完全固化，取出柔性衬底层并将其封装在已制得的柔性电路层的底部。

2.根据权利要求1所述的阵列化光波导柔性触觉传感器的制备方法，其特征在于，所述的步骤S1中，在发光供电端产生的光信号的波长范围内，由第二液态弹性体完全固化得到的光波导内芯的折射率大于由第一液态弹性体完全固化得到的光波导包层的折射率。