[发明专利]半导体器件在审
申请号: | 202010520444.3 | 申请日: | 2020-06-09 |
公开(公告)号: | CN112071907A | 公开(公告)日: | 2020-12-11 |
发明(设计)人: | 宋宇彬;李相遇;赵珉熙 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L29/778 | 分类号: | H01L29/778;H01L29/78;H01L29/06;H01L29/423 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 倪斌 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明构思的方面提供了一种半导体器件,该半导体器件能够通过包括氧化物半导体层的晶体管中的源/漏工程来提高性能和可靠性。该半导体器件包括:衬底;设置在衬底上的金属氧化物层;源/漏图案,与金属氧化物层接触,并且包括从金属氧化物层的顶表面突出的部分;多个栅结构,设置在金属氧化物层上,使源/漏图案介于其间,并且每个栅结构包括栅间隔部和绝缘材料层,绝缘材料层与金属氧化物层接触,并且不沿着源/漏图案的顶表面延伸;以及设置在源/漏图案上的接触部,接触部连接到源/漏图案。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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