[发明专利]一种相邻拼接镜间piston误差检测系统有效
| 申请号： | 202010519042.1 | 申请日： | 2020-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN111551351B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 杨飞;曹海峰;安其昌;张景旭 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 巴翠昆 |
| 地址： | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种相邻拼接镜间piston误差检测系统，包括：发射单元，用于提供宽带光；调制单元，包括空间光调制器和散射介质，用于对宽带光进行动态调制；分光单元，用于分光并分别传输至光谱测量单元和拼接子镜的反射面；光谱测量单元，用于测量受空间光调制器和散射介质调制后的光谱分布；拼接子镜，用于将分光单元分光后的光束反射至成像单元；成像单元，用于采集衍射图样；处理单元，用于控制空间光调制器将光谱形状和分布调整到指定形状，还用于对衍射图样进行分析处理，获得相邻两拼接子镜间的piston误差值。该系统克服了2π模糊效应，使相邻拼接镜piston误差检测的范围动态可调，可同时实现大测量范围和高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 相邻 拼接 piston 误差 检测 系统 | ||
【主权项】：
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