[发明专利]一种相邻拼接镜间piston误差检测系统

权利要求书

1.一种相邻拼接镜间piston误差检测系统，其特征在于，包括：发射单元，调制单元，分光单元，光谱测量单元，相邻两拼接子镜，成像单元和处理单元；其中，

所述发射单元，用于提供宽带光；

所述调制单元，包括空间光调制器和散射介质，用于对所述发射单元提供的宽带光进行动态调制；

所述分光单元，用于将所述调制单元输出的光束进行分光，并分别传输至所述光谱测量单元和所述相邻两拼接子镜的反射面；

所述光谱测量单元，用于测量受所述空间光调制器和所述散射介质调制后的光谱分布；

所述相邻两拼接子镜，用于将所述分光单元分光后的光束进行反射并传输至所述成像单元；

所述成像单元，用于采集衍射图样；

所述处理单元，分别与所述空间光调制器、所述光谱测量单元和所述成像单元连接，用于控制所述空间光调制器将光谱形状和分布调整到指定形状，还用于对所述成像单元采集的衍射图样进行分析处理，获得所述相邻两拼接子镜间的piston误差值。

2.根据权利要求1所述的相邻拼接镜间piston误差检测系统，其特征在于，所述发射单元包括用于发出细光束的宽谱光源，以及依次设置在传输光路上的扩束镜，线偏振片，入瞳，第一汇聚透镜和第一准直透镜；其中，

所述扩束镜，用于将所述细光束变成粗光束并传输至所述线偏振片；

所述线偏振片，用于将所述粗光束起偏后得到偏振光；

所述入瞳，用于限制所述偏振光的有效孔径；

所述第一汇聚透镜，用于汇聚所述偏振光；

所述第一准直透镜，用于将通过所述第一汇聚透镜汇聚后的光变换为平行光束，以得到所述宽带光并传输至所述空间光调制器。

3.根据权利要求2所述的相邻拼接镜间piston误差检测系统，其特征在于，所述调制单元还包括反射镜；

所述反射镜，用于将经所述空间光调制器和所述散射介质调制后的光束进行反射，并将反射光束传输至所述分光单元。

4.根据权利要求3所述的相邻拼接镜间piston误差检测系统，其特征在于，所述分光单元为分光棱镜，具体用于将所述反射镜传输的反射光束分为两路，第一路光束平行于所述反射光束且传输至所述光谱测量单元，第二路光束垂直于所述反射光束且传输至所述相邻两拼接子镜的反射面。

5.根据权利要求4所述的相邻拼接镜间piston误差检测系统，其特征在于，所述光谱测量单元包括第二汇聚透镜、第二准直透镜和光谱仪；其中，

所述第二汇聚透镜，用于汇聚所述分光单元分光后的光束；

所述第二准直透镜，用于将通过所述第二汇聚透镜汇聚后的光变换为平行光束，并传输至所述光谱仪。

6.根据权利要求5所述的相邻拼接镜间piston误差检测系统，其特征在于，所述分光单元和所述相邻两拼接子镜之间设置有第一掩膜版；所述第一掩膜版的开口处与所述相邻两拼接子镜的拼接处相对应。

7.根据权利要求6所述的相邻拼接镜间piston误差检测系统，其特征在于，所述成像单元包括第三汇聚透镜，第二掩膜版，第三准直透镜和成像系统；其中，

所述第三汇聚透镜，用于汇聚所述相邻两拼接子镜反射后的光束，且汇聚点在所述第二掩膜版的开口处；所述第二掩膜版为准Hole掩膜版；

所述第三准直透镜，用于将通过所述第二掩膜版的光变换为平行光束，并传输至所述成像系统；

所述成像系统，用于将接收的平行光束转换为衍射图样。

8.根据权利要求2所述的相邻拼接镜间piston误差检测系统，其特征在于，所述宽谱光源为多色LED光源。

9.根据权利要求1所述的相邻拼接镜间piston误差检测系统，其特征在于，所述空间光调制器为液晶空间光调制器。

10.根据权利要求7所述的相邻拼接镜间piston误差检测系统，其特征在于，所述成像系统为CCD探测器。