[发明专利]制备透射电子显微镜样品的方法有效
| 申请号： | 202010513567.4 | 申请日： | 2020-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN113834831B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 郑义明;杨詠钧;杨培华;谢忠诚 | 申请（专利权）人： | 全德科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;G01N23/20008;G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 361009 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本揭示内容涉及透射电子显微镜样品的制备，提供了制备透射电子显微镜样品的方法，包含：提供初始透射电子显微镜样品，其中初始透射电子显微镜样品包含金属层以及氧化层，氧化层位于金属层上；以及形成保护结构于氧化层的上表面上，获得透射电子显微镜样品；其中，当形成保护结构于氧化层的上表面上，是形成非晶保护层于氧化层的上表面上，接着，形成导电层于非晶保护层上，获得透射电子显微镜样品；或是当形成保护结构于氧化层的所述上表面上，是形成碳膜于氧化层的上表面上。本揭示内容的一些实施方式中，透过在氧化层上形成保护结构，达到保护氧化层的效果，满足可高度分辨金属层、氧化层以及导电层，并精确测量各层厚度的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 透射 电子显微镜 样品 方法 | ||
【主权项】：
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