[发明专利]用于测量表面形貌的设备和方法以及校准方法有效
| 申请号： | 202010494176.2 | 申请日： | 2017-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN111595269B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | L.奥姆洛尔;C.格拉泽纳普 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司股份公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25;G01B21/04;G03B3/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 卢江;刘春元 |
| 地址： | 德国巴登-符*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于测量表面形貌的设备和方法以及校准方法。本发明涉及用于测量物体（12）的光学有效面（18）的形貌和/或梯度和/或曲率的方法和设备（10）。该设备（10）能够实现以能够贴靠在该物体（12）上的接触部（17）将该物体（12）安排在接收范围（14）内。在该设备（10）中具有提供光的多个点光源（20），该光被反射到安排在该接收范围（14）内的物体的待测量的面（18）上。该设备（10）具有至少一个相机（34），该相机具有物镜组件（40）和图像传感器（46）用于采集亮度分布，该亮度分布在图像传感器（46）上由点光源（20）的反射到该待测量的面（18）上的光引起。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 表面 形貌 设备 方法 以及 校准 | ||
【主权项】：
暂无信息
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