[发明专利]基于模块化超构表面和CMOS图像传感器的分子条形码检测法在审

专利信息
申请号: 202010482396.3 申请日: 2020-05-28
公开(公告)号: CN111539234A 公开(公告)日: 2020-08-14
发明(设计)人: 朱锦锋;李法君;谢奕浓;申家情;刘雪莹 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: G06K7/10 分类号: G06K7/10;G06K19/06;H01L27/146
代理公司: 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 代理人: 郑翰伟
地址: 361005 *** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明属于等离激元超构表面和CMOS图像传感器技术领域,尤其为基于模块化超构表面和CMOS图像传感器的分子条形码检测方法,包括窄带可调谐光源和模块化传感阵列芯片,所述模块化传感阵列芯片的单元结构由CMOS图像层、隔离层、等离激元层组成,所述CMOS图像层由衬底层和COMS像元层组成,所述隔离层由中间介质层和钝化层组成,所述等离激元层由介质衬底层和金属圆片层组成,所述衬底层、COMS像元层、中间介质层、钝化层、介质衬底层、金属圆片层自下而上复合而成。在所述传感阵列芯片上形成16×16的模块化单元,使用该传感方法可以极大降低检测系统复杂性和尺寸,具有免标记、低成本、定制化的优异性能,提高样品检测的精准度。
搜索关键词: 基于 模块化 表面 cmos 图像传感器 分子 条形码 检测
【主权项】:
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