[发明专利]一种兰姆波谐振器结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202010454126.1 | 申请日： | 2020-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN111555733A | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 史向龙;苏波 | 申请（专利权）人： | 北京航天微电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/19 | 分类号： | H03H9/19;H03H9/25;H03H9/02;H03H3/10;H03H3/04 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 尉保芳 |
| 地址： | 100854*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种兰姆波谐振器结构，包括衬底、单晶薄板以及叉指电极，所述衬底上表面具有具有空气腔，所述单晶薄板覆盖在所述衬底上并密封住所述空气腔，所述单晶薄板上表面设有叉指电极。采用表面空腔牺牲层结构，避免体硅工艺的可靠性问题，相比传统的SAW滤波器频率更高、机电耦合系数更高、功率容量更好；相比BAW‑FBAR滤波器，可实现的相对带宽更宽，可达10％以上。该技术可应用于目前的X‑BAR技术。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 兰姆波 谐振器 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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