[发明专利]一种基于软性硅膜片的光纤压力传感器及其检测方法在审
| 申请号： | 202010452720.7 | 申请日： | 2020-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN111473896A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 梁姗姗;程雪园;李新宇 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L11/02 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 吴族平 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于软性硅膜片的光纤压力传感器及其检测方法，所述压力传感器包括管体、软性硅膜片与光纤，所述光纤置于所述管体内且靠近于所述硅薄膜，薄膜贴于所述输入光纤形成的光路中如管口前端，内侧或侧向表面。利用硅胶制备超薄硅膜片，当外界压力改变时会引起薄膜形变，可用直接探测或基于相干光干涉原理探测对硅膜的振动形变量进行勘测，测量硅膜片的形变量并设定对应的压力值以及可测压力范围，计算得到压力值在可测范围内与形变深度之间的函数关系，从而达到能够测试压力的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 软性 膜片 光纤 压力传感器 及其 检测 方法 | ||
【主权项】：
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