[发明专利]一种超高真空束源炉坩埚除气装置在审
| 申请号： | 202010448802.4 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN111534797A | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 陈建新;金博睿;徐志成 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/26;F04B37/14 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超高真空束源炉坩埚除气装置，该装置包括：在真空腔室上通过第一刀口法兰与真空规管上的第五刀口法兰连接，通过第二刀口法兰与闸板阀上的第六刀口法兰连接，通过第三和第四刀口法兰分别安装2台束源炉上的第九刀口法兰连接。在闸板阀上通过第七刀口法兰与真空泵上的第八刀口法兰连接。该装置结构简单，在暴露大气后能快速恢复到超高真空度，束源炉装卸简单，极大地提高了束源炉坩埚除气的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 真空 束源炉 坩埚 装置 | ||
【主权项】：
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