[发明专利]一种超高真空束源炉坩埚除气装置

权利要求书

1.一种超高真空束源炉坩埚除气装置，包括：真空腔室(1)、真空规管(2)、闸板阀(3)、真空泵(4)、束源炉(5)，其特征在于:

所述的真空腔室(1)上的第一刀口法兰(1-3)与真空规管(2)上的第五刀口法兰(2-1)用螺栓相连，真空腔室(1)上的第二刀口法兰(1-4)与闸板阀(3)上的第六刀口法兰(3-1)用螺栓相连，闸板阀(3)上的第七刀口法兰(3-2)与真空泵(4)顶部上的第八刀口法兰(4-1)用螺栓相连，二台束源炉(5)上台第九刀口法兰(5-1)分别与真空腔室(1)中的束源炉除气室(1-1)上的第三刀口法兰(1-1-1)和束源炉储存室(1-2)上的第四刀口法兰(1-2-1)用螺栓相连。

2.根据权利要求1所述的超高真空束源炉坩埚除气装置，其特征在于:所述真空腔室(1)是由不锈钢制成，外观呈圆桶状中间有空洞圆柱体，所述圆柱体上半部一侧连接束源炉除气室(1-1)；另一侧连接束源炉储存室(1-2)，所述圆柱体下半部分一侧与连接有束源炉除气室(1-1)的同侧连接第一刀口法兰(1-3)，所述圆柱体底面连接第二刀口法兰(1-4)。所述束源炉除气室(1-1)由不锈钢制成，外观呈圆桶状中间有空洞圆柱体，所述圆柱体另一端焊接第三刀口法兰(1-1-1)；所述束源炉储存室(1-2)由不锈钢制成，外观呈圆桶状中间有空洞圆柱体，所述圆柱体另一端焊接第四刀口法兰(1-2-1)。

3.根据权利要求1所述的超高真空束源炉坩埚除气装置，其特征在于:所述真空规管(2)一端焊接灯丝接线柱；另一端焊有第五刀口法兰(2-1)。所述灯丝接线柱与真空规管(2)内部真空端灯丝相连。

4.根据权利要求1所述的超高真空束源炉坩埚除气装置，其特征在于:所述闸板阀(3)是由不锈钢制成，所述阀体上下两侧各焊有第六刀口法兰(3-1)和第七刀口法兰(3-2)。

5.根据权利要求1所述的超高真空束源炉坩埚除气装置，其特征在于:所述真空泵(4)的顶部焊有第八刀口法兰(4-1)。

6.根据权利要求1所述的超高真空束源炉坩埚除气装置，其特征在于:所述束源炉(5)焊有第九刀口法兰(5-1)，所述第九刀口法兰(5-1)不与束源炉(5)焊接的一端中间有由钽材料制作成的用于放置坩埚的圆桶状腔室。