[发明专利]一种薄膜体声波谐振器及其制造方法在审
| 申请号： | 202010431226.2 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN112039466A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 黄河;罗海龙;李伟 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H3/04;H03H9/17;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 201210 上海市浦东新区中国（上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜体声波谐振器及其制造方法，薄膜体声波谐振器包括：承载衬底；支撑层，键合于承载衬底上，支撑层围成第一空腔，第一空腔暴露出承载衬底；压电叠层结构，位于支撑层上方，覆盖第一空腔，压电叠层结构从下至上包括依次层叠的第一电极、压电层和第二电极，位于第一空腔上方的第一电极、压电层和第二电极在垂直于压电层表面方向上相互重叠的区域构成谐振器的有效谐振区；有效谐振区边界处设置有第一凸起和第二凸起，第一凸起位于第一电极所在侧，第二凸起位于第二电极所在侧，所述第一凸起和/或所述第二凸起在所述压电层所在平面上的投影包括环形，所述环形包括开环或闭环。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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