[发明专利]一种制作三维旋转对称微结构的一体化成型方法有效
| 申请号： | 202010422720.2 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN111458976B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 刘鑫;范斌;杜俊峰;边疆;雷柏平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制作三维旋转对称微结构的一体化成型方法，根据目标三维旋转对称微结构(31)的中心剖面面形函数、光刻胶的曝光显影模型以及曝光剂量的旋转积分模型，设计二维掩模图形编码，并利用激光直写技术制作掩模(1)；在基底(2)表面均匀涂覆一层光刻胶(3)；调整掩模与基底及其表面的光刻胶在分离一定间隙的情况下保持严格的平行；控制掩模相对基底按照设定的角速度做同轴旋转运动，同时利用紫外光(4)对掩模进行面曝光；经过显影，获得三维旋转对称微结构。通过掩模的图形调制和曝光能量旋转积分的共同作用，使光刻胶上形成特定的连续曝光剂量分布，可以实现三维旋转对称微结构的一体化成型，降低了技术复杂度和制作成本，提高了加工精度和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制作 三维 旋转 对称 微结构 一体化 成型 方法 | ||
【主权项】：
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