[发明专利]一种制作三维旋转对称微结构的一体化成型方法

权利要求书

1.一种制作三维旋转对称微结构的一体化成型方法，其特征在于，包含以下步骤：

步骤1、根据目标的三维旋转对称微结构(31)的中心剖面面形函数、光刻胶的曝光显影模型以及曝光剂量的旋转积分模型，设计二维掩模图形编码，并利用激光直写技术制作掩模(1)；

步骤2、在基底(2)表面，均匀涂覆一层光刻胶(3)；

步骤3、调整掩模(1)与基底(2)及其表面的光刻胶(3)在分离一定间隙的情况下，保持严格的平行；

步骤4、控制掩模(1)相对基底(2)及其表面的光刻胶(3)按照设定的角速度做同轴旋转运动，同时利用紫外光(4)对掩模(1)进行面曝光；

步骤5、经过显影，获得三维旋转对称微结构(31)；

其中，步骤4中，经过掩模(1)的图形编码和曝光剂量旋转积分的双重作用，紫外光(4)使光刻胶(3)上形成特定的连续曝光剂量分布，经显影后获得目标微结构，从而实现三维旋转对称微结构(31)的一体化成型。

2.根据权利要求1所述的一种制作三维旋转对称微结构的一体化成型方法，其特征在于：步骤5中，根据实验结果反馈的实测面形与理想面形之差，对步骤1中掩模(1)的图形编码进行优化设计，并且重复步骤1到步骤5，可以实现三维旋转对称微结构的面形高精度控制。