[发明专利]热复合的光栅制作工艺有效
| 申请号： | 202010399215.0 | 申请日： | 2020-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN111522086B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 郭金川;罗琨皓;宗方轲;杨君;吴浩 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 深圳市深弘广联知识产权代理事务所(普通合伙) 44449 | 代理人： | 向用秀 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热复合的光栅制作工艺，属于光学元件技术领域，工艺流程包括：预制金属膜、制作复合膜、热复合、切割和封装；通过将对X射线强吸收的重金属膜和对X射线弱吸收轻金属膜交替堆叠在一起后，再通过热复合的方式将轻金属膜与重金属膜粘合在一起后；最后切割复合膜堆，并封装得到光栅，整个工艺过程中将重金属膜以及轻金属膜制作与光栅制作分离，为每种工艺流程提供特定的环境；更有利于流水线大批量生产；同时采用热粘合工艺将轻金属和重金属粘合在一起，金属膜厚度容易控制，在光栅制作过程中误差小；且利于流水线大批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 光栅 制作 工艺 | ||
【主权项】：
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