[发明专利]热电堆及其制作方法有效
| 申请号： | 202010389904.3 | 申请日： | 2020-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN111540824B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 周娜;李俊杰;毛海央;高建峰;杨涛;李俊峰;王文武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H10N10/01 | 分类号： | H10N10/01;H10N10/17;H10N10/80 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种热电堆及其制作方法，所述制作方法包括如下步骤：在衬底正面形成热电堆结构；在衬底背面形成掩膜层；采用干法刻蚀，在掩膜层上形成定位刻蚀窗口；采用博世刻蚀，对定位刻蚀窗口区域的衬底进行第一步刻蚀释放；采用反应离子刻蚀，进行衬底的第二步刻蚀释放，得到完全释放的背腔和保持完整的热电堆结构，完成热电堆的制备。本发明采用常规衬底，通过干法刻蚀释放工艺，分步对衬底进行刻蚀释放，在保持热电堆结构完整性的同时，制作出热电堆器件。 | ||
| 搜索关键词： | 热电 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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