[发明专利]自动化手臂更换机构

摘要

本发明是一种自动化手臂更换机构，其包含一放置装置及一机器手臂装置，该放置装置包含放置夹爪单元的多个承载单元，以及承载单元具有磁吸件、位移活动空间及衔接感测组，该机器手臂装置具有一运动单元及受控于该运动单元的一手臂单元，该手臂单元可选择性地自动组接该放置装置的夹爪单元，该手臂单元具有可通过该磁吸件磁吸带动而位移的锁扣件，通过锁扣件是否被磁吸而形成解锁、上锁状态，并通过该衔接感测组感测，该自动化手臂更换机构可依据待输送的晶圆尺寸，让该手臂单元自动结合适当的夹爪单元，故便利性佳且适用性佳。